行业 | 弗劳恩霍夫IISB与PVA TePla共建氮化铝衬底联合实验室

2026-07-20 管理员


德国弗劳恩霍夫集成系统与器件技术研究所(IISB)与PVA TePla AG在联合实验室框架下整合专业优势,共同致力于氮化铝(AlN)晶体的生长。作为欧洲首个此类合作项目,该联合实验室可实现直径2英寸单晶AlN衬底的小批量生产,以满足业界研发需求。此举将显著改善AlN衬底在欧洲的供应状况,加速AlN基器件与系统的研发及产业化进程。

 

译自原文
PVA TePla and Fraunhofer IISB Establish Joint Lab for Aluminum Nitride Substrates

原文链接
https://www.pvatepla.com/corporate/investorrelations/financial-news/pva-tepla-and-fraunhofer-iisb-establish-joint-lab-for-aluminum-nitride-substrates/

Wettenberg/Erlangen, 2026年7月8日

 

 

德国弗劳恩霍夫集成系统与器件技术研究所(IISB)与PVA TePla AG在联合实验室框架下整合专业优势,共同致力于氮化铝(AlN)晶体的生长。作为欧洲首个此类合作项目,该联合实验室可实现直径2英寸单晶AlN衬底的小批量生产,以满足业界研发需求。此举将显著改善AlN衬底在欧洲的供应状况,加速AlN基器件与系统的研发及产业化进程。

AlN是下一代高性能电子器件最具前景的材料之一。作为超宽禁带半导体,AlN为光电子、电力电子、高频电子以及极端工况下运行的电子系统开辟了全新可能。难以获得高质量、大尺寸且兼具成本优势的AlN衬底,迄今为止一直是制约AlN基器件及系统发展的瓶颈。

“通过联合实验室,我们能够为保障欧洲AlN衬底的可靠供应奠定基础,并为下一代高性能AlN基器件的开发铺平道路,弗劳恩霍夫IISB氮化物材料课题组组长、AlN材料开发负责人Sven Besendörfer博士表示。通过与PVA TePla携手,我们得以充分发挥在晶体生长领域的专长,为AlN材料向产业应用的转化创造有利条件。

 

 

成熟工艺与专有技术融合

 

在联合实验室框架下,弗劳恩霍夫IISB采用物理气相传输(PVT)工艺技术生产2英寸AlN体晶。该工艺下,AlN粉末在远高于2000 °C的温度下于坩埚内升华,并在籽晶上沉积结晶。PVA TePla则提供相应的PVT设备,此类设备已在全球范围内广泛应用于直径8英寸碳化硅(SiC)晶体的生长,现经专业化改造,适用于2英寸AlN晶体的生长。得益于弗劳恩霍夫IISB的工艺专长,PVA TePla团队在其自有设备上成功制备出了高质量的AlN晶体。联合实验室的工作重点聚焦于2英寸AlN晶体的小批量稳定生产。目前正逐步提升产能,并系统性地优化工艺稳定性、可重复性、良率及成本结构。

“凭借AlN材料,我们正积极打造继SiC之后的新一代半导体技术,”PVA TePla研发副总裁Jan Pfeiffer博士表示。通过联合实验室,我们能够将设备技术专长与弗劳恩霍夫IISB的晶体生长工艺有效结合,从而为全球用户提供面向市场的解决方案。我们的共同目标是通过提供优质的衬底来激发AlN领域的研发热情,促使更多企业和科研团队加入AlN材料和器件市场。

 

 

规模化生产增强技术主权

 

联合实验室生产的AlN晶体将在弗劳恩霍夫IISB进一步加工为可用于外延工艺的AlN衬底,并将通过LZE GmbH定向导入产业化应用与规模化制造。LZE GmbH总经理Christian Forster博士表示:新型关键材料不仅需要被开发出来,还必须快速实现产业应用和价值转化,这对欧洲的半导体主权而言至关重要。LZE GmbH凭借其成熟的技术交易平台,可为业界提供开放获取AlN衬底的渠道。通过这种方式,AlN衬底的应用领域和市场规模将得以快速扩张。

与此同时,弗劳恩霍夫IISB正积极推进4英寸及未来6英寸AlN衬底技术的开发。联合实验室由此也得以在中长期内持续支撑AlN材料规模化应用对衬底尺寸的更高要求。该项合作还致力于实现集中欧洲超宽禁带技术领域优势力量,减少关键材料对外依赖的战略目标,将持续增强欧洲在半导体领域的技术主权。


生长于联合实验室的直径2英寸的氮化铝晶体(© Jennifer Reißig/弗劳恩霍夫IISB

 

 

关于弗劳恩霍夫IISB

 

弗劳恩霍夫集成系统与器件技术研究所(IISB)是欧洲领先的宽禁带半导体与电力电子系统研究机构之一,覆盖电力电子全价值链。其研究范围涵盖晶体与衬底、半导体器件与工艺技术、电力电子模块与组件,以及完整的电子与能源系统。重点应用领域包括电动汽车、航空航天、可持续能源供应及民用安全。凭借其解决方案,该研究所在能效和性能方面不断树立新标杆,即使在极端工况下亦不例外。智能化、数据驱动功能的集成持续开拓新的应用场景。由此,IISB支持全球客户与合作伙伴将研究成果转化为具有竞争力的产品。约350名员工在IISB的各驻地工作:位于埃尔朗根的总部、哈尔施塔特清洁技术创新园区E|Road中心、莱比锡BioCity园区,以及弗赖贝格的弗劳恩霍夫高性能材料技术中心(THM)。

 

 

 

关于PVA TePla

 

PVA TePla是一家领先的材料与测量技术尖端科技企业。该公司成立于1991年,作为系统供应商,开发和生产用于高精度材料生产、精炼与加工(材料解决方案)的定制化解决方案,以及用于通过声学、光学和湿化学方法检测材料与组件的系统(计量技术)。PVA TePla通过其技术中心运营一个面向市场的研究与创新中心,致力于未来材料的研发。此外,公司还通过内部研发满足高度特定的个性化客户需求。PVA TePla集团的解决方案应用于产品与技术价值链的早期阶段,应对数字化、脱碳和出行等大趋势中的全球性挑战。PVA TePla在欧洲、亚洲和北美均设有分支机构,业务布局遍及全球。公司总部位于黑森州韦滕贝格,在全球拥有约1000名员工。该公司在TecDAXS-DAX指数上市,PVA TePla AG股票在XETRATradegate及德国各区域证券交易所交易(ISIN DE0007461006WKN 746100)。

 

 

关于LZE GmbH

 

LZE GmbH致力于搭建科学界与市场之间的桥梁。与来自广泛学科领域的强大科研伙伴紧密合作,在众多商业化项目中开发出高效且有效的工具,促进最新科研成果向工业可应用解决方案的转化,以此将发明转化为可投放市场的创新。作为尖端技术交易平台,LZE GmbH为企业提供获得前沿开发成果和产品的渠道,以及面向市场推出的综合服务。此外,LZE GmbH还直接承接来自研究机构的尖端技术的商业化工作。

 

 

 原文源于【PVA TePla】官网

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