2019年10月29日,浙江省科学技术厅发布了《关于2020年度省重点研发计划项目立项的公示》。包括奥趋光电牵头负责的“第三代半导体衬底和外延材料研发及应用-2英寸氮化铝晶圆衬底制备及紫外光电器件研发与示范化应用”项目在内的371个项目通过评审,获批江省2020年度重点研发计划项目资助。目前奥趋光电该项目已通过2020年度省重点研发计划项目立项评审,并进入公示阶段。
“第三代半导体衬底和外延材料研发及应用-2英寸氮化铝晶圆衬底制备及紫外光电器件研发与示范化应用”项目由奥趋光电技术(杭州)有限公司牵头,中科院宁波材料所、浙江极力动力新能源有限公司作为项目参与单位,主要针对全球范围内缺少大尺寸、高质量AlN晶圆衬底以及紫外LED/紫外激光器发光效率不高这一瓶颈问题,开展2英寸AlN晶圆衬底和外延材料制备、掺杂及动力学、缺陷形成与控制和光电性能研究,攻克深紫外LED、深紫外激光器、紫外探测器等在衬底材料、器件设计与制备等方面的关键技术问题,打破国际上对于AlN晶圆衬底的商业垄断和技术封锁,实现AlN晶圆衬底在高端紫外LED、紫外探测器和紫外激光器等领域的国内外示范化应用。