世界各国为生长大尺寸氮化铝单晶,近50年来在晶体生长方法、生长工艺等方面作出了长期不懈努力,但研发进展非常缓慢。其中,物理气相沉积法被公认为生长块状氮化铝单晶的唯一方法,该方法也是生长大尺寸块状碳化硅单晶理想方法。尽管氮化铝单晶和碳化硅单晶生长的基础研究同时起步于20世纪70年代,而碳化硅单晶生长工艺进展迅速,目前国际上已成功研发并计划量产直径8英寸(200mm)碳化硅晶圆,但当前国际上有能力生长出直径1英寸(25.4mm)氮化铝单晶的科研机构及企业极其有限。由于氮化铝单晶生长温度高、生长条件非常苛刻,对氮化铝单晶生长的设备、热场及其控制系统提出了前所未有的挑战。因此,国务院、国家工信部将氮化铝单晶生长装备列入《中国制造2025》绿皮书有待突破的关键国产化装备......