第五代移动通信技术(简称5G或5G技术)是最新一代蜂窝移动通信技术,也是即4G(LTE-A、WiMax)、3G(UMTS、LTE)和2G(GSM)系统之后的延伸。5G的性能目标是高数据速率、减少延迟、节省能源、降低成本、提高系统容量和大规模设备连接。
在已知压电材料中,AlN薄膜的SAW传播速度是最快的,且AlN SAW器件具有良好的化学和热稳定性,以及对外界环境如压力、温度、应力、气体等具有极高的灵敏性,与常规传统Si CMOS技术相兼容,因而成为无源传感、无线传 感和移动信号处理的关键部件。随着最近十几年来无线通信技术的飞速发展,SAW 传感器、谐振器和滤波器在实现小型化、多功能和高性价比方面有望取代传统半导体器件,成为未来复杂系统的核心技术。
滤波器主要包括薄膜腔声谐振滤波器(FBAR)、表面声波滤波器(SAW)及体声波滤波器(BAW)。FBAR在未来单芯片多波段无线通信RF前端系统中使用较多,与SAW滤波器相比更具尺寸优势;AlN在SAW/BAW滤波器中的应用较为成熟,已实现商品化,SAW滤波器多用于中频,BAW 滤波器更适合高频应用,且高品质因数Q值更高,将在4G/5G等通信领域得到广泛应用。